BelOMO のルーペ LP-3-10x + Canon S95 でのテストショット

日立(現ルネサス）製 MPU H8/330 (HD6473308R) の窓から内部のダイを BelOMO LP-3-10x 越しに撮影したもの。
左下の方でブラーと色ずれが見えるのは MPUのガラス窓のせい。
チップ幅約 7.3mm が約 2950 pixel だったのでざっと 2.54μm/pixel、図示の範囲は □2.6mmに相当する。
写真下部の HD6473308 の約 3pixel の線幅の文字が明瞭に見えて、各所の約 2pixel の線幅の配線も解像できているので、
図示の範囲での総合解像度は悪くとも 65 本(line pairs)/mm ～良ければ 98 本(line pairs)/mm 程と考えられる。

Texas instruments 製 TTL SN54LS107AJ を破壊的に分解して中のチップを撮影したもの。
チップサイズはおよそ 1.4×1.2mm 。

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